製品情報ー付帯設備関連

薬液供給システム



超機能水供給システム

＜酸還王＞

本装置は機能水を使用しての処理のため排水処理に対して地球環境に優しく、
薬液を使用しての洗浄に比べ、排水処理にかかるコストが大幅に削減できます！
＊オルガノ（株）殿からの依頼による受託生産


（タイプC型）

CMP工程後洗浄などの比較的小流量の
洗浄機に還元性超機能水を供給するシステム
（タイプH-C型）

還元性超機能水の製造に特化した装置で
コストパフォーマンスに優れたシステム



（タイプH-CD型）

スピンドライヤー



スピンドライヤー
卓上型スピンナー

保管庫



ＰＶＣ保管庫
ＳＵＳ保管庫

特許製品

特許第４４１３３７６号
登録日：2009/11/27
名   称：ウェハー保管装置



ＮＰ－ＳＴＯＣＫＥＲ

仕        様  ： ６インチ
本体サイズ  ：1720(w)×480(D)×1940ｍｍ（Ｈ）
                    ４列４段
ユーティリティ：電源１００Ｖ，単相１５Ａ，
                    Ｎ２圧力０．１Ｍｐａ，流量５Ｌ／min

                                            ＮＰ－ＢＯＸ
   ＢＯＸサイズ：262(W)×163(D)×222mm（H)
   ＜特徴＞
       ■ 自然酸化膜の抑制（クリーンベンチの1/2）
       ■ 低アウトガス発生
       ■ 高ガスバリアー性
       ■ セパレートタイプで移動が容易
       ■ 低価格・短納期
       ■ 静電気対策可


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