製品情報ー液晶関連

太陽電池関連装置


     対応口径 ： １２５口、１５０口
                   （２～５キャリア／１パッチ）
適用機種 ： テクスチャー形成エッチング
ガラス除去エッチング
石英管洗浄エッチング
シリコンウェハ表面にテクスチャー構造を形成したり、ドープ時のガラスを除去する為、
アルカリ処理又は酸処理を行った後、リンス・乾燥まで処理します。

セルの貼り付き防止対策付。
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