半導体関連装置

　

自動石英管洗浄装置

横型・縦型にも対応可能で、横型は２槽タイプの他に１槽式、３槽式、４槽式等
多数のタイプも製作可能です。。
また、石英ロッド処理タイプ（重量物）にも柔軟に対応できます。

拡散処理後の石英チューブをフックにのせ、全自動でエッチング、純水洗浄を行います。
フックは上下・左右動作を行い、液中における石英管の浮き防止と上昇時の液抜きを致します。


（二槽・横型タイプ）
（縦型タイプ）
　

ベルジャー洗浄装置


ベルジャー洗浄装置

ベルジャー型石英部品の内面、外面を噴射ノズルを使用し、薬液でエッチング洗浄後、
純水による洗浄を行う装置です。

石英保管台車



                                             石英保管台車
 

    ワンタッチカプラにて容易にＮ２パージができ、
    クリーンな保管状態のまま搬送できます。


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