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周辺機器
ウェハー移し替え器
お客様のご使用になるキャリアに合わせて製作致します。
御見積及び製作時にご使用になるキャリア及びウェハ(5枚~25枚)を
御支給ください。
【手動ウェハ水平移し替え器】
型式:MTL−8“
キャリアを移動させてウェハを移し替えるタイプです。
【手動ウェハ水平移し替え器】
型式:MSTL−8”
押出板を移動させて移し替えるタイプです。
ピッチチェンジャー
【ピッチチェンジャー】
ピッチの異なるカセットへランダムに移し替えることができます。
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